Darbe gautas trimatės netiesinės difuzijos lygties apytikslis sprendinys, kai difuzijos koeficientai x, y ir z kryptimis yra proporcingi priemaišų koncentracijai. Trimatės netiesinės difuzijos lygties sprendinys išdėstomas trijų automodelinių kintamųjų laipsnine eilute maksimalaus priemaišų įsiskverbimo taškų x, y ir z aplinkose įskaitant kvadratinius narius. Gautas sprendinys naudingas praktiniuose taikymuose nustatant technologinius parametrus difuzijos procesams vykstant puslaidininkinių
prietaisų gamyboje. Tai sudaro galimybę tiksliau modeliuoti integralines mikroschemas